[实用新型]一种多尺寸单片晶圆电镀夹具

摘要

本实用新型公开了一种多尺寸单片晶圆电镀夹具，包括下箍，所述下箍的内侧设置有第一底框，所述第一底框的一侧设置有第二底框，所述第二底框远离第一底框的一侧设置有第三底框，所述第一底框、第二底框和第三底框与下箍为一体式结构，所述第一底框的内侧设置有第一下夹板，所述第二底框的内侧设置有第二下夹板，本实用新型设置了第一上夹板和第一下夹板，设置的第一上夹板和第一下夹板经卡合后形成圆形固定夹，且通过夹板上开设的凹槽能够防止晶圆滑落，依据不同型号的晶圆选择对应大小的夹板进行固定，实现了一个夹具同时兼容多种尺寸的晶圆，同时该电镀夹具结构简单，操作便捷，抗振性好，夹持的晶圆不会晃动。

主权项

1.一种多尺寸单片晶圆电镀夹具，包括下箍(12)，其特征在于：所述下箍(12)的内侧设置有第一底框(1)，所述第一底框(1)的一侧设置有第二底框(17)，所述第二底框(17)远离第一底框(1)的一侧设置有第三底框(16)，所述第一底框(1)、第二底框(17)和第三底框(16)与下箍(12)为一体式结构，所述第一底框(1)的内侧设置有第一下夹板(11)，所述第二底框(17)的内侧设置有第二下夹板(10)，所述第三底框(16)的内侧设置有第三下夹板(9)，所述第三下夹板(9)、第二下夹板(10)和第一下夹板(11)的底端均设置有下固定杆(13)，所述第三下夹板(9)、第二下夹板(10)和第一下夹板(11)均通过下固定杆(13)与第三底框(16)、第二底框(17)和第一底框(1)固定连接，所述下箍(12)的上方设置有上箍(4)，所述上箍(4)的内侧设置有第一上框(3)，所述第一上框(3)的一侧设置有第二上框(14)，所述第二上框(14)远离第一上框(3)的一侧设置有第三上框(15)，所述第一上框(3)的内侧设置有第一上夹板(6)，所述第二上框(14)的内侧设置有第二上夹板(7)，所述第三上框(15)的内侧设置有第三上夹板(8)，所述第一上夹板(6)、第二上夹板(7)和第三上夹板(8)的顶端均设置有上固定杆(5)，所述第一上夹板(6)、第二上夹板(7)和第三上夹板(8)均通过上固定杆(5)与第一上框(3)、第二上框(14)和第三上框(15)固定连接，所述第一上夹板(6)、第二上夹板(7)、第三上夹板(8)、第三下夹板(9)、第二下夹板(10)和第一下夹板(11)上均开设有凹槽(19)，所述第一底框(1)、第二底框(17)和第三底框(16)上均设置有铰链(2)，所述第一底框(1)、第二底框(17)和第三底框(16)均通过铰链(2)与第一上框(3)、第二上框(14)和第三上框(15)转动连接，所述第一底框(1)、第二底框(17)和第三底框(16)远离铰链(2)的一侧均设置有固定扣(18)。