[实用新型]一种多尺寸单片晶圆电镀夹具

权利要求书

1.一种多尺寸单片晶圆电镀夹具，包括下箍(12)，其特征在于：所述下箍(12)的内侧设置有第一底框(1)，所述第一底框(1)的一侧设置有第二底框(17)，所述第二底框(17)远离第一底框(1)的一侧设置有第三底框(16)，所述第一底框(1)、第二底框(17)和第三底框(16)与下箍(12)为一体式结构，所述第一底框(1)的内侧设置有第一下夹板(11)，所述第二底框(17)的内侧设置有第二下夹板(10)，所述第三底框(16)的内侧设置有第三下夹板(9)，所述第三下夹板(9)、第二下夹板(10)和第一下夹板(11)的底端均设置有下固定杆(13)，所述第三下夹板(9)、第二下夹板(10)和第一下夹板(11)均通过下固定杆(13)与第三底框(16)、第二底框(17)和第一底框(1)固定连接，所述下箍(12)的上方设置有上箍(4)，所述上箍(4)的内侧设置有第一上框(3)，所述第一上框(3)的一侧设置有第二上框(14)，所述第二上框(14)远离第一上框(3)的一侧设置有第三上框(15)，所述第一上框(3)的内侧设置有第一上夹板(6)，所述第二上框(14)的内侧设置有第二上夹板(7)，所述第三上框(15)的内侧设置有第三上夹板(8)，所述第一上夹板(6)、第二上夹板(7)和第三上夹板(8)的顶端均设置有上固定杆(5)，所述第一上夹板(6)、第二上夹板(7)和第三上夹板(8)均通过上固定杆(5)与第一上框(3)、第二上框(14)和第三上框(15)固定连接，所述第一上夹板(6)、第二上夹板(7)、第三上夹板(8)、第三下夹板(9)、第二下夹板(10)和第一下夹板(11)上均开设有凹槽(19)，所述第一底框(1)、第二底框(17)和第三底框(16)上均设置有铰链(2)，所述第一底框(1)、第二底框(17)和第三底框(16)均通过铰链(2)与第一上框(3)、第二上框(14)和第三上框(15)转动连接，所述第一底框(1)、第二底框(17)和第三底框(16)远离铰链(2)的一侧均设置有固定扣(18)。

2.根据权利要求1所述的一种多尺寸单片晶圆电镀夹具，其特征在于：所述第一上夹板(6)与第一下夹板(11)的形状相同。

3.根据权利要求1所述的一种多尺寸单片晶圆电镀夹具，其特征在于：所述第一上框(3)、第二上框(14)和第三上框(15)上均开设有凹槽。

4.根据权利要求1所述的一种多尺寸单片晶圆电镀夹具，其特征在于：所述下箍(12)为空心长方体结构。

5.根据权利要求1所述的一种多尺寸单片晶圆电镀夹具，其特征在于：所述上箍(4)上设置有防滑纹。