[实用新型]用于激光微孔加工的棱镜式光束扫描装置及系统

摘要

本实用新型涉及一种用于激光微孔加工的棱镜式光束扫描装置、系统及光束扫描方法，该光束扫描装置包括：第一异型光楔、第二异型光楔、第一旋转驱动件、第二旋转驱动件；该光束扫描装置采用两个异型光楔控制激光光束的横向位移量和倾斜角度，改变两个异型光楔之间的夹角可以同时改变激光光束的倾斜角度和横向位移量，不但可以用来加工倒锥孔，而且解决了现有透射型和组合型装置深孔加工中存在的中心光束先擦边现象，大大提高了深孔加工能力。具备上述光束扫描装置的光束扫描系统及其光束扫描方法同样具有上述技术效果。

主权项

1.一种用于激光微孔加工的棱镜式光束扫描装置，所述光束扫描装置与外部的控制系统相连接，其特征在于，所述光束扫描装置包括：第一异型光楔、第二异型光楔、第一旋转驱动件、第二旋转驱动件；所述第一异型光楔包括一个角度为α的第一光楔部分和一个倾斜角为β的第一平行平板部分，所述第一光楔部分的主截面与所述第一平行平板部分的主截面两者的投影之间的夹角为γ；所述第二异型光楔包括一个角度为α的第二光楔部分和一个倾斜角为β的第二平行平板部分，所述第二光楔部分的主截面与所述第二平行平板部分的主截面两者的投影之间的夹角为‑γ；其中，所述γ角取‑90°<γ<90°；所述第一旋转驱动件、第二旋转驱动件由所述控制系统控制依次驱动所述第一异型光楔、第二异型光楔旋转使得外部的激光光束依次通过所述第一异型光楔、第二异型光楔后产生预定的横向位移量和倾斜角度。