[实用新型]用于激光微孔加工的棱镜式光束扫描装置及系统

权利要求书

1.一种用于激光微孔加工的棱镜式光束扫描装置，所述光束扫描装置与外部的控制系统相连接，其特征在于，所述光束扫描装置包括：第一异型光楔、第二异型光楔、第一旋转驱动件、第二旋转驱动件；

所述第一异型光楔包括一个角度为α的第一光楔部分和一个倾斜角为β的第一平行平板部分，所述第一光楔部分的主截面与所述第一平行平板部分的主截面两者的投影之间的夹角为γ；

所述第二异型光楔包括一个角度为α的第二光楔部分和一个倾斜角为β的第二平行平板部分，所述第二光楔部分的主截面与所述第二平行平板部分的主截面两者的投影之间的夹角为-γ；

其中，所述γ角取-90°<γ<90°；

所述第一旋转驱动件、第二旋转驱动件由所述控制系统控制依次驱动所述第一异型光楔、第二异型光楔旋转使得外部的激光光束依次通过所述第一异型光楔、第二异型光楔后产生预定的横向位移量和倾斜角度。

2.根据权利要求1所述的棱镜式光束扫描装置，其特征在于，所述γ角取30°≤|γ|≤60°。

3.根据权利要求1所述的棱镜式光束扫描装置，其特征在于，所述第一旋转驱动件驱动所述第一异型光楔的旋转轴与所述第二旋转驱动件驱动所述第二异型光楔的旋转轴平行。

4.根据权利要求1所述的棱镜式光束扫描装置，其特征在于，所述α角取0°<α<5°，所述β角取20°<β<60°。

5.根据权利要求1所述的棱镜式光束扫描装置，其特征在于，所述第一旋转驱动件、第二旋转驱动件均包括驱动电机。

6.一种用于激光微孔加工的棱镜式光束扫描系统，其特征在于，包括：控制系统、激光器、光束扫描装置、聚焦镜；所述光束扫描装置为权利要求1-5中任一项所述的光束扫描装置；

所述控制系统控制所述光束扫描装置中的所述第一异型光楔与所述第二异型光楔的速度差，从而使由所述激光器发射出的激光光束通过所述光束扫描装置后随所述第一异型光楔与所述第二异型光楔之间的夹角φ的变化而产生预定的横向位移量和倾斜角度，并经所述聚焦镜聚焦后射出。

7.根据权利要求6所述的棱镜式光束扫描系统，其特征在于，所述光束扫描系统还包括反射镜，所述激光器发射出的激光光束由所述反射镜反射后射入所述光束扫描装置，经所述反射镜反射的激光光束的中心线与所述聚焦镜的光轴重合。