[实用新型]一种高稳定性铌酸锂单晶提升炉密封装置有效
申请号: | 201820025581.8 | 申请日: | 2018-01-06 |
公开(公告)号: | CN207727193U | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 徐国忠 | 申请(专利权)人: | 盐城市振弘电子材料厂 |
主分类号: | C30B29/30 | 分类号: | C30B29/30;C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 224021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种高稳定性铌酸锂单晶提升炉密封装置,它包括:阀座组件,所述阀座组件包括阀座本体、开设于所述阀座本体内的内孔道以及一体设置于所述阀座本体端部的容置环体,所述容置环体具有与所述内孔道相连通的容置腔,所述阀座本体外壁上开设有多个限位孔;阀盖组件。这样能够利用容置环体和卡接槽、密封头和内孔道以及密封圈实现三道密封,从而确保了铌酸锂单晶提升炉密封装置的高稳定性。 | ||
搜索关键词: | 铌酸锂单晶 阀座本体 高稳定性 内孔道 提升炉 环体 容置 阀座组件 密封圈 本实用新型 阀盖组件 三道密封 一体设置 卡接槽 密封头 容置腔 限位孔 阀座 外壁 体内 | ||
【主权项】:
1.一种高稳定性铌酸锂单晶提升炉密封装置,其特征在于,它包括:阀座组件(1),所述阀座组件(1)包括阀座本体(11)、开设于所述阀座本体(11)内的内孔道(12)以及一体设置于所述阀座本体(11)端部的容置环体(13),所述容置环体(13)具有与所述内孔道(12)相连通的容置腔(14),所述阀座本体(11)外壁上开设有多个限位孔(15);阀盖组件(2),所述阀盖组件(2)包括设置于所述容置环体(13)一侧的阀板(21)、设置于所述阀板(21)表面上且与所述容置环体(13)相配合的卡接环体(25)、安装在所述卡接环体(25)上且与所述限位孔(15)相配合的多个螺栓(27)、设置于所述阀板(21)表面上的支撑杆(22)、可拆卸地安装在所述支撑杆(22)自由端且与所述内孔道(12)相配合的密封头(23)、开设于所述阀板(21)表面上且与所述容置环体(13)相配合的卡接槽(24)以及设置于所述卡接槽(24)内的密封圈(26)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盐城市振弘电子材料厂,未经盐城市振弘电子材料厂许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201820025581.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种籽晶铸锭装料结构
- 下一篇:一种半导体金属DEP的异常处理装置