[实用新型]一种高稳定性铌酸锂单晶提升炉密封装置有效
申请号: | 201820025581.8 | 申请日: | 2018-01-06 |
公开(公告)号: | CN207727193U | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 徐国忠 | 申请(专利权)人: | 盐城市振弘电子材料厂 |
主分类号: | C30B29/30 | 分类号: | C30B29/30;C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 224021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 铌酸锂单晶 阀座本体 高稳定性 内孔道 提升炉 环体 容置 阀座组件 密封圈 本实用新型 阀盖组件 三道密封 一体设置 卡接槽 密封头 容置腔 限位孔 阀座 外壁 体内 | ||
1.一种高稳定性铌酸锂单晶提升炉密封装置,其特征在于,它包括:
阀座组件(1),所述阀座组件(1)包括阀座本体(11)、开设于所述阀座本体(11)内的内孔道(12)以及一体设置于所述阀座本体(11)端部的容置环体(13),所述容置环体(13)具有与所述内孔道(12)相连通的容置腔(14),所述阀座本体(11)外壁上开设有多个限位孔(15);
阀盖组件(2),所述阀盖组件(2)包括设置于所述容置环体(13)一侧的阀板(21)、设置于所述阀板(21)表面上且与所述容置环体(13)相配合的卡接环体(25)、安装在所述卡接环体(25)上且与所述限位孔(15)相配合的多个螺栓(27)、设置于所述阀板(21)表面上的支撑杆(22)、可拆卸地安装在所述支撑杆(22)自由端且与所述内孔道(12)相配合的密封头(23)、开设于所述阀板(21)表面上且与所述容置环体(13)相配合的卡接槽(24)以及设置于所述卡接槽(24)内的密封圈(26)。
2.根据权利要求1所述的高稳定性铌酸锂单晶提升炉密封装置,其特征在于:所述支撑杆(22)的自由端设置有与所述密封头(23)相配合的卡接凸起(221)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盐城市振弘电子材料厂,未经盐城市振弘电子材料厂许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820025581.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种籽晶铸锭装料结构
- 下一篇:一种半导体金属DEP的异常处理装置