[发明专利]压电式MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201811650270.1 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN109495829B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 段炼;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压电式MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜，所述压电振膜包括多个膜片，每一所述膜片包括与所述基底连接的固定端和与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的自由端，相邻两个所述膜片之间间隔设置或相接触，所述压电式EMES麦克风还包括位于所述压电振膜中央区域的约束结构，至少两个所述膜片的自由端与所述约束结构连接。与相关技术相比，本发明提供的压电式MEMS麦克风通过设置约束结构将膜片的自由端限制在同一平面内，提升了产品性能的均匀性，抗跌落性能更好。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种压电式MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜，所述压电振膜包括多个膜片，每一所述膜片包括与所述基底连接的固定端和与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的自由端，相邻两个所述膜片之间间隔设置或相接触，其特征在于，所述压电式EMES麦克风还包括位于所述压电振膜中央区域的约束结构，且至少两个所述膜片的自由端与所述约束结构连接。
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