[发明专利]压电式MEMS麦克风

权利要求书

1.一种压电式MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜，所述压电振膜包括多个膜片，每一所述膜片包括与所述基底连接的固定端和与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的自由端，相邻两个所述膜片之间间隔设置或相接触，其特征在于，所述压电式MEMS麦克风还包括位于所述压电振膜中央区域的约束结构，且至少两个所述膜片的自由端与所述约束结构连接，所述约束结构包括本体部和贯穿所述本体部设置的四个开孔，所述四个开孔环绕所述本体部的中心等角度间隔排列，所述自由端与所述本体部连接，所述自由端与所述本体部之间形成孔结构，所述孔结构包绕于所述本体部外；

所述开孔和所述孔结构均为扇形；或者，所述开孔为L形，所述孔结构均为一字形。

2.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，每个所述膜片的自由端均与所述约束结构连接。

3.根据权利要求1或2所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述约束结构与所述压电振膜一体成型。

4.根据权利要求3所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述约束结构与所述压电振膜处于同一平面内。

5.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述自由端与所述约束结构的连接方式包括刚性连接或柔性连接中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述约束结构为对称结构或非对称结构。

7.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，多个所述膜片的大小和形状均相同，多个所述膜片与所述约束结构配合围成圆形结构。

8.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，多个所述膜片的大小和形状均相同，多个所述膜片与所述约束结构配合围成正多边形结构。

9.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述背腔的横截面积小于所述压电振膜的横截面积，所述约束结构的横截面积小于所述背腔的横截面积。