[发明专利]光子辐射显微镜样品座、测试方法及显微镜装置在审
| 申请号： | 201811630274.3 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109633418A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 丁德建;刘海岸;曹茂庆 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/311 | 分类号： | G01R31/311;G01R31/28;G02B21/34 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光子辐射显微镜样品座，包括：基板，所述基板上设置有用于承载样品的样品承载区；所述样品承载区内沿垂直方向贯穿所述基板；所述样品承载区内设有透光材质的承载板；金属电极，其设置在所述基板中并沿垂直方向贯穿所述基板；接合线，用于将所述待测样品的扎针区域与所述金属电极电连接。本发明使原有的正/背面探测式EMMI/OBIRCH应用分析设备具有从两面进行分析应用的能力。可更加方便快捷的精确定位缺陷位置。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 样品承载 显微镜样品 光子辐射 金属电极 显微镜装置 待测样品 定位缺陷 分析设备 分析应用 透光材质 扎针区域 承载板 电连接 接合线 原有的 贯穿 背面 探测 承载 测试 应用 | ||
【主权项】：
1.一种光子辐射显微镜样品座，其特征在于，包括：基板，所述基板上设置有用于承载样品的样品承载区；所述样品承载区内沿垂直方向贯穿所述基板；所述样品承载区内设有透光材质的承载板；金属电极，其设置在所述基板中并沿垂直方向贯穿所述基板；接合线，用于将所述样品的扎针区域与所述金属电极电连接。
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