[发明专利]光子辐射显微镜样品座、测试方法及显微镜装置

权利要求书

1.一种光子辐射显微镜样品座，其特征在于，包括：

基板，所述基板上设置有用于承载样品的样品承载区；所述样品承载区内沿垂直方向贯穿所述基板；所述样品承载区内设有透光材质的承载板；

金属电极，其设置在所述基板中并沿垂直方向贯穿所述基板；

接合线，用于将所述样品的扎针区域与所述金属电极电连接。

2.如权利要求1所述的光子辐射显微镜样品座，其特征在于，还包括：支架，用于支撑所述基板，所述支架活动连接在所述基板上。

3.如权利要求1所述的光子辐射显微镜样品座，其特征在于，还包括：底座，用于承载所述支架，所述底座固定连接在所述支架上。

4.如权利要求1所述的光子辐射显微镜样品座，其特征在于，所述基板为正方形PCB板。

5.如权利要求1所述的光子辐射显微镜样品座，其特征在于，所述承载板为高纯石英玻璃板。

6.如权利要求1所述的光子辐射显微镜样品座，其特征在于，所述金属电极为铜电极。

7.如权利要求1所述的光子辐射显微镜样品座，其特征在于，所述金属电极设置在所述样品承载区的周围。

8.如权利要求2所述的光子辐射显微镜样品座，其特征在于，所述支架与所述基板螺纹连接。

9.如权利要求3所述的光子辐射显微镜样品座，其特征在于，所述底座为磁性材料，用于将样品座固定于机台承载台上。

10.一种使用如权利要求1-9中之一所述的光子辐射显微镜样品座的光子辐射显微镜设备，其特征在于，包括：

探针座，具有上表面，所述上表面用于支撑探针座，所述探针座上设置有探针臂，所述探针臂上设置有探针；

设备承载台，用于承载所述光子辐射显微镜样品座。

11.如权利要求10所述的光子辐射显微镜设备，其特征在于，还包括：

多个光学透镜，设置与样品台和探针台下方，用于光学聚焦，所述光学透镜与所述样品台、探针座、探针臂和探针之间具有安全工作距离；

多个探测器，位于所述光学透镜下方，用于对所述金属互连层进行缺陷定位和分析。

12.如权利要求11所述的光子辐射显微镜设备，其特征在于，还包括：

观察显微镜，设置在样品上方，所述观察显微镜用于扎针观察。

13.如权利要求10所述的光子辐射显微镜设备，其特征在于，还包括：

多个光学透镜，设置与样品台和探针台上方，用于光学聚焦，所述光学透镜与所述样品台、探针座、探针臂和探针之间具有安全工作距离；

多个探测器，位于所述光学透镜上方，用于对所述金属互连层进行缺陷定位和分析。

14.如权利要求11-13中之一所述的光子辐射显微镜设备，其特征在于，所述探测器包括铟镓砷探测器或共焦激光显微镜。

15.一种使用如权利要求1-9中之一所述的光子辐射显微镜样品座的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，将样品背面硅基底固定于样品座承载板下表面，

步骤二，将样品座底部支架拆除，将需要扎针的待测试区域通过接合线与周围的铜电极进行电连接，然后安装支架；

步骤三，对测试样品对应的铜电极上表面自上而下进行扎针；

步骤四，使用铟镓砷探测器或共焦激光显微镜最小倍率对待分析区域进行对焦，输入电信号，对样品进行EMMI/OBIRCH正面分析。

16.如权利要求14所述的光子辐射显微镜样品座的测试方法，其特征在于，步骤一中，样品背面硅基底通过热溶胶固定于承载板下表面。