[发明专利]一种光栅尺的安装装置、安装方法、光栅测量系统及光刻机有效
| 申请号： | 201811629401.8 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111380464B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 李思平;宋兴龙;杨辅强;仲凯 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光栅尺的安装装置、安装方法、光栅测量系统及光刻机，光栅尺的安装装置包括安装底板和自适应结构，安装底板的一端面上开设有一通孔，通孔用于提供光刻机的投影曝光光学系统的光路通道，光栅尺连接于安装底板的端面上，自适应结构包括柔性块、刚度阻尼器及吸振阻尼器，且柔性块、刚度阻尼器及吸振阻尼器固定连接于安装底板的另一端面上。从而减少了外界的热传递、主基板的振动、主基板热变形以及工件台在高速运动过程中产生的气压波动对工件台光栅尺测量稳定性的影响，进而提高了工件台光栅尺的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅尺 安装 装置 方法 光栅 测量 系统 光刻 | ||
【主权项】：
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