[发明专利]一种光栅尺的安装装置、安装方法、光栅测量系统及光刻机

权利要求书

1.一种安装装置，用于光刻机上，其特征在于，包括安装底板和自适应结构，所述安装底板的一端面上开设有一通孔，所述通孔用于提供所述光刻机的投影曝光光学系统的光路通道，光栅尺连接于所述安装底板的所述端面上；

所述自适应结构包括柔性块、刚度阻尼器及吸振阻尼器，且所述柔性块、所述刚度阻尼器及所述吸振阻尼器固定连接于所述安装底板的另一端面上。

2.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述安装底板的材质选用微晶玻璃或铝合金。

3.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述柔性块、所述刚度阻尼器及所述吸振阻尼器采用螺钉连接的方式固定连接于所述安装底板的另一端面上。

4.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述安装底板在平行于其一端面方向的截面的形状和尺寸与所述光栅尺在平行于所述安装底板的一端面方向的截面的形状和尺寸相同。

5.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述通孔在平行于所述安装底板的一端面方向的截面形状为圆形或正方形。

6.如权利要求5所述的安装装置，其特征在于，所述通孔的轴线经过所述安装底板的几何中心。

7.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述柔性块的数量为多个，多个所述柔性块均匀分布在以所述通孔的轴线与所述安装底板的一端面的交点为圆心的一圆周上。

8.如权利要求7所述的安装装置，其特征在于，所述刚度阻尼器的数量为多个，所述柔性块和所述刚度阻尼器在所述圆周上交替分布。

9.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器的第一端为固定端，所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器的第二端为可拆卸连接的一端；

或者，所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器的所述第一端为可拆卸连接的一端，所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器的所述第二端为固定端；

所述第一端为所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器上与所述安装底板相连接的一端，所述第二端为所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器的另一端。

10.如权利要求9所述的安装装置，其特征在于，还包括柔性块安装底座、刚度阻尼器转接块及吸振阻尼器转接块；

所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器的所述第一端为固定端，所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器的所述第二端为可拆卸连接的一端时：

所述柔性块安装底座的一端固定连接于所述安装底板的另一端面上，所述柔性块固定连接于所述柔性块安装底座的另一端上；

所述刚度阻尼器转接块的一端固定连接于所述安装底板的另一端面上，所述刚度阻尼器固定连接于所述刚度阻尼器转接块的另一端上；

所述吸振阻尼器转接块的一端固定连接于所述安装底板的另一端面上，所述吸振阻尼器固定连接于所述吸振阻尼器转接块的另一端上；

所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器的所述第二端为可拆卸连接的一端，所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器的所述第一端为固定端时：

所述柔性块安装底座的一端固定连接于主基板的下端面上，所述柔性块固定连接于所述柔性块安装底座的另一端上；

所述刚度阻尼器转接块的一端固定连接于主基板的下端面上，所述刚度阻尼器固定连接于所述刚度阻尼器转接块的另一端上；

所述吸振阻尼器转接块的一端固定连接于主基板的下端面上，所述吸振阻尼器固定连接于所述吸振阻尼器转接块的另一端上。

11.如权利要求10所述的安装装置，其特征在于，所述刚度阻尼器和所述吸振阻尼器的可拆卸连接的一端的端面与所述柔性块上远离所述柔性块安装底座的一端面共面。

12.如权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述刚度阻尼器为速度锁定器或磁流变阻尼器，所述吸振阻尼器为油阻尼器、粘滞阻尼器、粘弹性阻尼器、金属阻尼器或摩擦阻尼器。