[发明专利]一种物料传输装置及系统在审
| 申请号： | 201811627145.9 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111377246A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王继明;朱岳彬;廖飞红;张飞;王理华;卢彧文 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G54/02 | 分类号： | B65G54/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种物料传输装置及系统，所述物料传输装置包括：传输单元和固定于所述传输单元下方的位置调整单元；所述传输单元用于给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力以使物料以悬浮状态被传输；所述位置调整单元用于使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，所述水平第二方向和所述水平第一方向相垂直。由于所述物料传输装置使得物料在传输过程中始终保持悬浮状态，故可避免物料发生破碎和被污染；同时，通过所述位置调整单元使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，能够对物料的位置进行调整，故可解决现有物料传输系统定位精度低会偏心的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物料 传输 装置 系统 | ||
【主权项】：
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