[发明专利]一种物料传输装置及系统

说明书

本发明提供了一种物料传输装置及系统，所述物料传输装置包括：传输单元和固定于所述传输单元下方的位置调整单元；所述传输单元用于给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力以使物料以悬浮状态被传输；所述位置调整单元用于使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，所述水平第二方向和所述水平第一方向相垂直。由于所述物料传输装置使得物料在传输过程中始终保持悬浮状态，故可避免物料发生破碎和被污染；同时，通过所述位置调整单元使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，能够对物料的位置进行调整，故可解决现有物料传输系统定位精度低会偏心的问题。

技术领域

本发明涉及光刻设备技术领域，特别涉及一种物料传输装置及系统。

背景技术

在光刻技术领域中，基板的处理过程中需要进行多种工艺，例如，清洗涂布、曝光、显影等，在各个工序之间需要经过物料传输系统进行传输。现有物料传输系统多采用接触式的传输方法，会污染物料，且通过真空吸附装置、气浮传送台、旋转夹紧机构等实现基板的交接和预对准，存在曝光等待时间长、定位精度低、工作效率低、基板易碎等缺点，在传输过程中会面临碎片的风险，同时会污染物料。

另外，通过物料传输系统将物料运输到承载台进行曝光时，只有当承载台尽量布置满，才能达到相对高的产率。然而，实际生产时，物料不仅可能以整板物料存在，也可能以半板物料存在，整板物料由于面积相对较大，而且一般地，面积大小与承载台的承载面的大小相匹配，故可通过现有的物料传输系统将承载台布置满，半板物料却只能通过现有物料传输系统传输至承载台的近端工作区，而不能传输至承载台的远端工作区，故不可能使承载台布置满，因此，产率受到了很大的影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种物料传输装置及系统，以解决现有物料传输系统定位精度低物料会偏心、物料存在碎片风险且易被污染的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种物料传输装置，所述物料传输装置包括传输单元和固定于所述传输单元下方的位置调整单元；

所述传输单元用于给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力以使物料以悬浮状态被传输；

所述位置调整单元用于使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，所述水平第二方向和所述水平第一方向相垂直。

可选地，在所述的物料传输装置中，所述传输单元包括一振动板以及分别固定于所述振动板的两端下方的两个超声单元，所述振动板用于承载物料，两个所述超声单元分别通过发送和接收超声使得所述振动板和物料之间形成气膜，所述气膜通过给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力使得物料以悬浮状态被传输。

可选地，在所述的物料传输装置中，所述位置调整单元包括两组垂向运动组件和两组水平运动组件；每个所述超声单元分别对应一组所述垂向运动组件和一组所述水平运动组件；所述超声单元通过所述垂向运动组件实现垂向运动；以及，通过所述水平运动组件实现水平第二方向的运动。

可选地，在所述的物料传输装置中，所述垂向运动组件包括连接板、竖直固定在所述连接板上的弹簧组件和固定在所述连接板上的第一直线电机，所述水平运动组件包括所述连接板、固定在所述连接板下方的滑轨和固定在所述连接板上的第二直线电机；所述连接板通过所述弹簧组件固定于所述超声单元的下方，在所述第一直线电机的作用下带动所述超声单元做垂向运动以及在所述第二直线电机的作用下带动所述超声单元沿着所述滑轨做水平第二方向的运动。

一种物料传输系统，其特征在于，所述物料传输系统包括：承载台和如上所述的物料传输装置；

所述承载台用于承载经所述物料传输装置传输的物料；

所述承载台具有开口，所述物料传输装置的传输单元能够经由所述开口做垂向运动。