[发明专利]一种改进的OLED蒸镀装置及其改善蒸镀阴影效应的方法在审
| 申请号： | 201811618558.0 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109536888A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 吴远武;褚天舒 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律远专利代理事务所(普通合伙) 11574 | 代理人： | 全成哲 |
| 地址： | 213200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改进的OLED蒸镀装置，包括由上至下依次设置的基板、掩膜板以及蒸发源，所述掩膜板下方设置有一个准直过滤器，所述准直过滤器包括若干通道，所述准直过滤器的各通道分别与其上方的掩膜板上对应的的开口对齐设置。还公布了通过该OLED蒸镀装置有效改善蒸镀阴影效应的方法。本发明不需要改造现有的掩膜板，仅通过本发明提供的准直过滤器，即可有效避免有机材料分子沉积到预设区域之外的临近范围，达到消除阴影效应的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 掩膜板 准直 阴影效应 蒸镀装置 蒸镀 有机材料分子 对齐设置 依次设置 预设区域 蒸发源 基板 沉积 改进 开口 改造 | ||
【主权项】：
1.一种改进的OLED蒸镀装置，包括由上至下依次设置的基板、掩膜板以及蒸发源，其特征在于：所述掩膜板下方设置有一个准直过滤器，所述准直过滤器包括若干通道，所述准直过滤器的各通道分别与其上方的掩膜板上对应的的开口对齐设置。
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