[发明专利]一种太阳能电池的电极制备方法在审
| 申请号： | 201811611556.9 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111384184A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 陈涛;李新连 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0224 | 分类号： | H01L31/0224;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种太阳能电池的电极制备方法。包括：提供一衬底基板；在所述衬底基板上形成第一电极层；通过等离子刻蚀使所述第一电极层形成子第一电极层。本发明通过等离子刻蚀第一电极层，使第一电极层形成至少两个相互绝缘的子第一电极层，相对于现有通过激光刻蚀过程中可能使太阳能电池的电极发生变形，该方案由于不会出现能量集中而不会使电极层发生变形，从而不会影响其他膜层，有助于提高太阳能电池的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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