[发明专利]一种太阳能电池的电极制备方法

说明书

本发明提供一种太阳能电池的电极制备方法。包括：提供一衬底基板；在所述衬底基板上形成第一电极层；通过等离子刻蚀使所述第一电极层形成子第一电极层。本发明通过等离子刻蚀第一电极层，使第一电极层形成至少两个相互绝缘的子第一电极层，相对于现有通过激光刻蚀过程中可能使太阳能电池的电极发生变形，该方案由于不会出现能量集中而不会使电极层发生变形，从而不会影响其他膜层，有助于提高太阳能电池的稳定性。

技术领域

本发明涉及太阳能发电技术领域，尤其涉及一种太阳能电池的电极制备方法。

背景技术

CIGS薄膜太阳能组件通常包括多个互相串联的太阳能电池，为了形成串联结构，一般通过激光将基板上的Mo层或其他电极材料上进行划线刻划，形成多个电极图形。在利用激光刻划过程中，Mo等金属由于激光束的高脉冲能量而汽化，在刻线附近的Mo等金属容易发生变形形成火山口以及热影响区域，而发生变形的电极材料可能刺入其他膜层中，例如形成火山口的电极材料刺入或穿过光吸收层中，并导致其他膜层短路或电连接，影响太阳能组件的性能。

发明内容

本发明实施例提供一种太阳能电池的电极制备方法，以解决现有太阳能电池的电极制备方法中，电极材料可能在激光刻划过程中由于高脉冲能量而变形影响太阳能组件性能的问题。

本发明实施例提供了一种太阳能电池的电极制备方法，包括：

提供衬底基板；

在所述衬底基板上形成第一电极层；

通过等离子刻蚀所述第一电极层，用于将所述第一电极层形成子第一电极层。

可选的，所述通过等离子刻蚀所述第一电极层，包括：

将掩膜版掩盖所述第一电极层，所述掩膜版上开设有多个贯穿所述掩膜版的通孔；

利用等离子体通过所述通孔轰击所述第一电极层，以形成相互绝缘的至少两个所述子第一电极层。

可选的，所述利用等离子体通过所述通孔轰击所述第一电极层，包括：

在辉光放电状态下，使气体解离生成的带电粒子，并使所述带电粒子在电场的作用下轰击所述第一电极层。

可选的，所述通过等离子刻蚀使所述第一电极层的步骤中；

射频电源的上电极功率为1500至2500瓦；及/或

射频电源的下电极功率为5至35瓦；及/或

反应压力为50至100Pa；及/或

刻蚀时间为5至80秒。

可选的，所述通过等离子刻蚀使所述第一电极层的步骤中；

射频电源的上电极功率为1700至1900瓦；及/或

射频电源的下电极功率为22至25瓦；及/或

反应压力为70至80Pa；及/或

刻蚀时间为5至10秒。可选的，所述电极制备方法在反应腔内进行；

所述方法还包括：

在利用等离子体轰击所述第一电极层时，利用抽气装置排放所述反应腔内的气体。

可选的，所述在所述衬底基板上形成第一电极层，包括：

在物理气相沉积设备的反应腔中通过物理气相沉积工艺在所述衬底基板上形成第一电极层；

所述通过等离子刻蚀所述第一电极层，包括：

在同一所述物理气相沉积设备中，通过等离子刻蚀使所述第一电极层形成子第一电极层所述子第一电极层。