[发明专利]电极厚度不对称的体声波谐振器、滤波器和电子设备在审
| 申请号： | 201811607891.1 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111384909A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；由顶电极、压电层和底电极构成的三明治结构，顶电极、压电层、底电极与声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠部分形成有效区域；以及三明治结构的一侧的增强结构，所述增强结构用于反射声波提高Q值，其中：位于所述三明治结构的所述一侧的电极的厚度小于位于所述三明治结构的另一侧的电极的厚度。本发明也涉及一种滤波器以及具有该滤波器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 厚度 不对称 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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