[发明专利]多晶硅铸锭炉、多晶硅铸锭方法和多晶硅锭在审
申请号: | 201811600862.2 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN109554752A | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 周成;何亮;毛伟;徐云飞;李建敏 | 申请(专利权)人: | 赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338004 *** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明实施例提供了一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、隔热笼,以及设置所述隔热笼内的坩埚、热交换台、护板和加热器隔热笼;所述隔热笼外壁上设有至少一个供氢组件,所述供氢组件包括一密封的储液箱和用于连通所述储液箱与所述隔热笼的至少一个导管,所述储液箱用于盛装液态碳氢化合物,所述供氢组件用于提供所述坩埚内的硅液进行氢钝化的氢源。该多晶硅铸锭炉能够便携、安全、有效地提供氢源,有利于多晶硅锭在制备过程中的氢钝化。本发明还提供了多晶硅铸锭方法和多晶硅锭。 | ||
搜索关键词: | 隔热笼 多晶硅铸锭炉 多晶硅锭 储液箱 供氢 多晶硅铸锭 氢钝化 氢源 坩埚 加热器 碳氢化合物 热交换台 盛装液态 制备过程 组件包括 有效地 便携 导管 硅液 护板 炉体 外壁 连通 密封 安全 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭炉,其特征在于,包括炉体、隔热笼,以及设置所述隔热笼内的坩埚、热交换台、护板和加热器隔热笼;所述隔热笼外壁上设有至少一个供氢组件,所述供氢组件包括一密封的储液箱和用于连通所述储液箱与所述隔热笼的至少一个导管,所述储液箱用于盛装液态碳氢化合物,所述供氢组件用于提供所述坩埚内的硅液进行氢钝化的氢源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司,未经赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811600862.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。