[发明专利]多晶硅铸锭炉、多晶硅铸锭方法和多晶硅锭在审
| 申请号： | 201811600862.2 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109554752A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 周成;何亮;毛伟;徐云飞;李建敏 | 申请（专利权）人： | 赛维LDK太阳能高科技（新余）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 338004 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 隔热笼 多晶硅铸锭炉 多晶硅锭 储液箱 供氢 多晶硅铸锭 氢钝化 氢源 坩埚 加热器 碳氢化合物 热交换台 盛装液态 制备过程 组件包括 有效地 便携 导管 硅液 护板 炉体 外壁 连通 密封 安全 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉，其特征在于，包括炉体、隔热笼，以及设置所述隔热笼内的坩埚、热交换台、护板和加热器隔热笼；所述隔热笼外壁上设有至少一个供氢组件，所述供氢组件包括一密封的储液箱和用于连通所述储液箱与所述隔热笼的至少一个导管，所述储液箱用于盛装液态碳氢化合物，所述供氢组件用于提供所述坩埚内的硅液进行氢钝化的氢源。
2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述隔热笼外壁表面具有为所述液态碳氢化合物提供脱氢反应的温度。
3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述供氢组件还包括加热组件，所述加热组件为所述液态碳氢化合物提供脱氢反应的温度。
4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述储液箱内靠近所述导管的一端设有多孔隔层。
5.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述储液箱内还装有溢流棉，所述溢流棉用于吸附所述液态碳氢化合物。
6.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述液态碳氢化合物包括C6-C18的烷烃、C6-C9的环烷烃和C2-C3烷基取代的芳香烃中的一种或多种。
7.如权利要求4所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述多孔隔层包括若干个规则排布的通孔；所述通孔的直径为5-15mm。
8.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述储液箱的材质为导热金属材料。
9.一种多晶硅铸锭方法，其特征在于，包括：
提供如权利要求1-8任意一项所述的多晶硅铸锭炉；
向所述坩埚中填装硅料，加热使所述坩埚内硅料熔化成硅液，所述供氢组件内的所述液态碳氢化合物发生脱氢反应并为所述硅液提供用于氢钝化的氢源；
调节热场以冷却所述热交换台，使所述硅液从所述坩埚底部向顶部定向凝固，待全部硅液结晶后，经退火冷却得到多晶硅锭。
10.一种由权利要求9任意一项所述的多晶硅铸锭方法制备的多晶硅锭。
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