[发明专利]一种N型双面太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种N型双面太阳能电池及其制备方法，包括：提供一N型硅片；在N型硅片的正面进行扩散形成一P型掺杂层；在N型硅片的背面形成氧化硅层和非晶硅层，并进行离子注入形成一N型掺杂层；在N型硅片的正面形成正面钝化减反射层，在N型硅片的背面形成背面钝化减反射层；在正面钝化减反射层背离N型硅片一侧形成正面电极，在背面钝化减反射层背离N型硅片一侧形成背面电极。采用离子注入形成N型掺杂层后，由于离子注入的电池正面刻蚀速度是背面的10～20倍，因此，无需采用掩膜，直接刻蚀即可去除正面绕镀，从而减少了掩膜的制备和清洗工序，简化了N型双面太阳能电池的制备流程，降低了制备成本，实现了N型双面太阳能电池的产业化。

主权项

1.一种N型双面太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：提供一N型硅片；在所述N型硅片的正面进行扩散形成一P型掺杂层；在所述N型硅片的背面形成氧化硅层和非晶硅层，并进行离子注入形成一N型掺杂层；在所述N型硅片的正面形成正面钝化减反射层，在所述N型硅片的背面形成背面钝化减反射层；在所述正面钝化减反射层背离所述N型硅片一侧形成正面电极，在所述背面钝化减反射层背离所述N型硅片一侧形成背面电极。