[发明专利]一种共蒸发系统及检测方法在审
| 申请号： | 201811584456.1 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111349891A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 徐义;岳志远 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06;H01L31/18;H01L21/67;G01B7/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及设备检测技术领域，具体涉及一种共蒸发系统及其检测方法。其中，包括蒸镀室，用于承载被蒸镀对象的载具，设于所述蒸镀室内，用于运送所述载具的传输装置，设置在传输装置的传输路径上的至少一对电容极板，与所述电容极板连接的电容信号控制器，对所述电容极板充电，并检测所述载具穿过电容极板间时电容极板间电容值的变化，然后根据电容值的变化判断所述载具所处位置。采用电容信号的方式来监测CIGS运行中的载具位置信号，相比较传统手段非常难被损坏，且电容极板的监测不易受蒸镀腔室粉尘的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 系统 检测 方法 | ||
【主权项】：
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