[发明专利]一种共蒸发系统及检测方法

权利要求书

1.一种共蒸发系统，其特征在于，包括：

蒸镀室(11)；

载具(3)，用于承载被蒸镀对象；

传输装置(2)，设于所述蒸镀室内，用于运送载有被蒸镀对象的所述载具(3)；

至少一对电容极板(51)，其设置在传输装置(2)的传输路径上的预设位置处；所述载具(3)可在所述电容极板(51)间穿过；

电容信号控制器(52)，其与所述电容极板(51)连接，对所述电容极板(51)充电，并检测所述载具(3)穿过电容极板(51)间时电容极板间电容值的变化，然后根据电容值的变化判断所述载具(3)所处位置。

2.根据权利要求1所述的共蒸发系统，其特征在于，所述载具包括矩形金属框架(31)；所述矩形金属框架包括，

横支撑梁，沿所述矩形金属框架的两宽边分别设有一根；

纵支撑梁；沿所述矩形框架的两长边分别设有一根，且所述纵支撑梁与所述传输装置传动连接。

3.根据权利要求2所述的共蒸发系统，其特征在于，所述电容极板(51)为两对，两对电容极板(51)间分别供两根所述纵支撑梁穿过。

4.根据权利要求3所述的共蒸发系统，其特征在于，两对所述电容极板(51)相对于所述载具(3)沿所述部件传输方向的轴线对称设置。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的共蒸发系统，其特征在于，所述电容信号控制器(52)包括：

整流电路，与所述电容极板(51)连接，用于将所述电容极板(51)变化的电容信号转换为DC电压信号；

信号放大器，与所述整流电路连接，用于将所述DC电压信号放大；

信号模拟电路，与所述信号放大器连接，用于判断放大的DC电压信号是否大于第一阈值，若大于第一阈值，输出放大的DC电压信号，用于判断所述载具(3)所处的位置。

6.根据权利要求5所述的共蒸发系统，其特征在于，所述电容信号控制器(52)还包括：

震荡电路，与所述电容极板(51)连接，向所述电容极板(51)充电；

外部供电电路，分别与所述整流电路和震荡电路连接，向所述整流电路和震荡电路供电。

7.根据权利要求5所述的共蒸发系统，其特征在于，还包括主控制器，其接收并存储输出放大的所述DC电压信号。

8.一种采用权利要求1-7中任一项所述共蒸发系统的检测方法，其特征在于，包括：

对所述电容极板(51)充电；

所述载具(3)朝向所述电容极板(51)运动，当检测部件进入电容极板间时，引起电容极板间电容值变化，所述电容信号控制器(52)检测所述电容极板间电容值变化，并依照所检测的电容值变化判断所述载具(3)所处的位置。

9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，在电容信号控制器(52)检测所述电容极板间电容值变化后，依据所检测的电容值变化的时间间隔和所述载具沿传输路径的长度，判断所述载具(3)实际的传输速度。

10.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，对于不同的载具(3)，所述电容信号控制器将各个载具(3)进入电容极板(51)间时对应的电容极板(51)间电容值变化数据上传并存储至主控制器，作为标准数据；根据所述标准数据判断实际进入电容极板(51)间的载具类型。