[发明专利]大阵列规模红外探测器地线结构有效
申请号: | 201811582366.9 | 申请日: | 2018-12-24 |
公开(公告)号: | CN109742096B | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 刘世光;张轶;王成刚;吴卿 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 田卫平 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种大阵列规模红外探测器地线结构,包括:读出电路、多个互连铟柱、P型区、多个N型区、N型层、地线引出电极、N型层电极、引线以及电路内接线;多个互连铟柱设置于读出电路上,P型区设置于多个互连铟柱上,N型区嵌装于P型区内,多个N型区分别与多个互连铟柱相接触,N型层设置于P型区上,地线引出电极设置于读出电路上表面,N型层电极设置于N型层的上表面边缘无像元区域,引线与地线引出电极和N型层电极连接,电路内接线嵌装于读出电路内,电路内接线与地线引出电极连接;能有效消除大阵列规模芯片上中心像元与边界像元由于串联电阻差异导致的分压差异,从而提升器件整体的响应均匀性。 | ||
搜索关键词: | 阵列 规模 红外探测器 地线 结构 | ||
【主权项】:
1.一种大阵列规模红外探测器地线结构,其特征在于,包括:读出电路、多个互连铟柱、P型区、多个N型区、N型层、地线引出电极、N型层电极、引线以及电路内接线;所述多个互连铟柱设置于所述读出电路上表面,所述P型区设置于所述多个互连铟柱的上端面,所述N型区嵌装于所述P型区内,所述多个N型区分别与所述多个互连铟柱相接触,所述N型层设置于所述P型区上表面,所述地线引出电极设置于所述读出电路上表面没有所述互连铟柱的边缘区域,所述N型层电极设置于所述N型层的上表面边缘无像元区域,所述引线与所述地线引出电极和所述N型层电极连接,所述电路内接线嵌装于读出电路内,所述电路内接线与所述地线引出电极连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的