[发明专利]一种镀膜设备、镀膜控制装置和方法在审
| 申请号： | 201811579214.3 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN109652777A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 潘旋 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镀膜设备、镀膜控制装置和方法，其中镀膜控制装置包括：至少一个挡片，用于接收入射粒子流并产生电流信号，挡片与镀膜窗口对应设置；控制模块，用于根据电流信号和预设目标参数输出对应的补偿信号；传动模块，与挡片连接，用于根据补偿信号调整对应的挡片的位置，以调整挡片对应的镀膜窗口大小，使得挡片对应的镀膜区域的入射粒子流满足预设目标参数；其中，预设目标参数为镀膜区域的入射粒子流的目标数。通过本发明实施例提供的方案，实现了镀膜过程中镀膜窗口挡片位置实时、连续和自动化调整，从而使得靶材在垂直方向上溅射的均匀性，准确性和时效性大大增加。 | ||
| 搜索关键词： | 挡片 镀膜控制 预设目标 粒子流 镀膜 电流信号 镀膜区域 镀膜设备 入射 补偿信号调整 补偿信号 传动模块 镀膜过程 控制模块 均匀性 时效性 靶材 溅射 自动化 输出 收入 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜控制装置，其特征在于，包括：至少一个挡片，用于接收入射粒子流并产生电流信号，所述挡片与镀膜窗口对应设置；控制模块，用于根据所述电流信号和预设目标参数输出对应的补偿信号；传动模块，与所述挡片连接，用于根据所述补偿信号调整对应的所述挡片的位置，以调整所述挡片对应的镀膜窗口大小，使得所述挡片对应的镀膜区域的入射粒子流满足所述预设目标参数；其中，所述预设目标参数为所述镀膜区域的入射粒子流的目标数。
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