[发明专利]一种复合薄膜在审
| 申请号： | 201811576576.7 | 申请日： | 2018-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN109468590A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张法亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市千禾盛科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/14;C23C14/35;C23C14/58;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种复合薄膜及制备薄膜的合金靶材和制备工艺，其特征在于复合薄膜由非晶材质和晶态材质组成，非晶材质体积百分含量大于80%，采用合金靶材通过气相沉积制备得到。本发明所提供的薄膜具有强度高，耐腐蚀性强，成本低廉的特性，易于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 复合薄膜 合金靶材 非晶 制备 薄膜 耐腐蚀性 气相沉积 制备工艺 晶态 | ||
【主权项】：
1.一种复合薄膜，其特征在于，由非晶材质和晶态材质复合而成，其中薄膜中非晶材质体积含量百分比大于80%。
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