[发明专利]一种复合薄膜在审
申请号: | 201811576576.7 | 申请日: | 2018-12-23 |
公开(公告)号: | CN109468590A | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 张法亮 | 申请(专利权)人: | 深圳市千禾盛科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/14;C23C14/35;C23C14/58;C23C14/24 |
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地址: | 518000 广东省深圳市坪山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 复合薄膜 合金靶材 非晶 制备 薄膜 耐腐蚀性 气相沉积 制备工艺 晶态 | ||
1.一种复合薄膜,其特征在于,由非晶材质和晶态材质复合而成,其中薄膜中非晶材质体积含量百分比大于80%。
2.如权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述薄膜中非晶材质体积含量百分比优选大于90%。
3.如权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述薄膜由合金靶材通过气相沉积制备得到。
4.如权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述薄膜由合金靶材通过气相沉积制备得到的合金物相、氮化物、碳化物、氧化物中的一种或多种组成。
5.如权利要求3和4所述的复合薄膜,其特征在于,所述合金靶材的非晶临界尺寸大于0.2mm。
6.如权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述晶态材质由合金靶材通过气相沉积制备得到。
7.如权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述晶态材质由合金靶材通过气相沉积制备,并经热处理制备得到。
8.如权利要求7所述的复合薄膜,其特征在于,所述热处理制度采用的热处理温度为低于玻璃转化温度100℃至高于玻璃转化温度200℃的温度区间,采用的热处理时间为0.5分钟到120分钟。
9.如权利要求3、4、6、7所述的复合薄膜,其特征在于,所述的气相沉积为蒸发镀、溅射镀、离子镀中的一种或多种的组合。
10.如权利要求5所述的复合薄膜,其特征在于,所述的合金靶材为钛基、铁基、锆基、镍基、铝基、钴基、铜基、钽基、钯基、金基合金中的一种或多种组合。
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