[发明专利]一种复合薄膜在审

专利信息
申请号: 201811576576.7 申请日: 2018-12-23
公开(公告)号: CN109468590A 公开(公告)日: 2019-03-15
发明(设计)人: 张法亮 申请(专利权)人: 深圳市千禾盛科技有限公司
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/14;C23C14/35;C23C14/58;C23C14/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市坪山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 复合薄膜 合金靶材 非晶 制备 薄膜 耐腐蚀性 气相沉积 制备工艺 晶态
【权利要求书】:

1.一种复合薄膜,其特征在于,由非晶材质和晶态材质复合而成,其中薄膜中非晶材质体积含量百分比大于80%。

2.如权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述薄膜中非晶材质体积含量百分比优选大于90%。

3.如权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述薄膜由合金靶材通过气相沉积制备得到。

4.如权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述薄膜由合金靶材通过气相沉积制备得到的合金物相、氮化物、碳化物、氧化物中的一种或多种组成。

5.如权利要求3和4所述的复合薄膜,其特征在于,所述合金靶材的非晶临界尺寸大于0.2mm。

6.如权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述晶态材质由合金靶材通过气相沉积制备得到。

7.如权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述晶态材质由合金靶材通过气相沉积制备,并经热处理制备得到。

8.如权利要求7所述的复合薄膜,其特征在于,所述热处理制度采用的热处理温度为低于玻璃转化温度100℃至高于玻璃转化温度200℃的温度区间,采用的热处理时间为0.5分钟到120分钟。

9.如权利要求3、4、6、7所述的复合薄膜,其特征在于,所述的气相沉积为蒸发镀、溅射镀、离子镀中的一种或多种的组合。

10.如权利要求5所述的复合薄膜,其特征在于,所述的合金靶材为钛基、铁基、锆基、镍基、铝基、钴基、铜基、钽基、钯基、金基合金中的一种或多种组合。

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