[发明专利]促动器和其制造方法以及光扫描装置和其制造方法在审
| 申请号： | 201811565208.2 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109946831A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 山田健介 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及促动器和其制造方法以及光扫描装置和其制造方法。当将晶片固定于切割带并进行切割时，抑制折皱部分因振动、水流产生振动从而破损。本发明的促动器具有：驱动梁，其具有沿与预定轴垂直的方向延伸的多个梁；相邻的上述梁的端部彼此通过折回部连结，从而整体具有之字形状的折皱构造，并且与驱动对象物连接；下部电极，其形成于上述梁的一个面上；压电元件，其形成于上述下部电极之上；驱动源，其是形成于上述压电元件之上的与上部电极的层叠体；肋，其在上述梁的另一个面中形成于比上述折回部靠上述预定轴侧，利用上述驱动源的驱动，驱动上述驱动对象物使之绕上述预定轴摆动。 | ||
| 搜索关键词： | 促动器 预定轴 光扫描装置 驱动对象物 下部电极 压电元件 折回 驱动源 制造 折皱 驱动 方向延伸 晶片固定 上部电极 水流产生 层叠体 垂直的 切割带 驱动梁 字形状 摆动 破损 连结 切割 | ||
【主权项】：
1.一种促动器，其特征在于，具有：驱动梁，其具有沿与预定轴垂直的方向延伸的多个梁，相邻的上述梁的端部彼此通过折回部连结，从而整体具有之字形状的折皱构造，并且与驱动对象物连接；驱动源，其形成于上述梁的一个面上；以及肋，其在上述梁的另一个面中形成于比上述折回部靠上述预定轴侧，利用上述驱动源的驱动，驱动上述驱动对象物使之绕上述预定轴摆动。
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