[发明专利]宽光谱高分辨率波导分光芯片结构有效
| 申请号： | 201811562091.2 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109682470B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王伟平;胡小燕;赵少宇;张东亮;林霄;刘大川 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司信息科学研究院 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 100086 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种宽光谱高分辨率波导分光芯片结构，包括级联MZI波导宽谱分光模块，用于将输入光进行宽光谱预分光，并将输出的多路预分光传输至阵列波导分光模块；阵列波导分光模块，用于将级联MZI波导分光模块的输出的多路预分光进行精细分光，输出更多路窄带宽的光波；调相模块，用于对所述阵列波导分光模块进行调相，调制所述阵列波导分光模块输出的中心波长。本发明将具有较宽带宽的级联MZI结构和较高分辨率的AWG结构相结合，在实现较大光谱范围的同时可实现较高的光谱分辨率，引入光谱差分分析技术，可进一步提高光谱分辨率，可基于成熟的硅光工艺进行批量生产，实现低成本制作。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 高分辨率 波导 分光 芯片 结构 | ||
【主权项】：
1.一种宽光谱高分辨率波导分光芯片结构，其特征在于：包括级联MZI波导宽谱分光模块，阵列波导分光模块和调相模块；所述级联MZI波导宽谱分光模块，用于将输入光进行宽光谱预分光，并将输出的多路预分光传输至阵列波导分光模块；所述阵列波导分光模块，用于将级联MZI波导分光模块的输出的多路预分光进行精细分光，输出更多路窄带宽的光波；调相模块，用于对所述阵列波导分光模块进行调相，调制所述阵列波导分光模块输出的中心波长。
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