[发明专利]一种纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法

摘要

本发明涉及金刚石复合涂层刀具硅片制备方法技术领域，具体为一种纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法，包括以下步骤：步骤1将刀具放入腐蚀液体中机械能化学处理；步骤2将刀具放入CVD设备反应室内，调节温度；步骤3合成气体，控制气压；步骤4产生形核和生长。本发明该纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法通过加热热丝保持较高，从而激发氢气和甲烷反应，形成氢原子与碳原子，促进了氢气和甲烷的反应。通过反应气压的升高，促进原子平均自由移动，原子间的碰撞自由程度减少，在刀具硅片表面沉积一层均匀的纳米金刚石复合涂层，从而提高抗弯强度与断裂韧性，其硬度则与CBN相当，刀具寿命可提高两倍，解决了涂层掉膜、涂层过厚成微米级的问题。

主权项

1.一种纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将硬质合金材质的刀具放入腐蚀性的液体中进行化学处理，形成稳定的化学物质；步骤2、将刀具放置于CVD设备反应室内，加热热丝功率，使刀具周围温度为1600℃；步骤3、在CVD设备反应室内接入气体流量为100‑200ml的氢气和50ml的甲烷混合气体，让CVD设备内反应气压为5.0‑0.125KPa；步骤4、经过15分钟形核与4小时的生长过程，在刀具表面沉积一层纳米金刚石薄膜。