[发明专利]一种纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法

权利要求书

1.一种纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、将硬质合金材质的刀具放入腐蚀性的液体中进行化学处理，形成稳定的化学物质；

步骤2、将刀具放置于CVD设备反应室内，加热热丝功率，使刀具周围温度为1600℃；

步骤3、在CVD设备反应室内接入气体流量为100-200ml的氢气和50ml的甲烷混合气体，让CVD设备内反应气压为5.0-0.125KPa；

步骤4、经过15分钟形核与4小时的生长过程，在刀具表面沉积一层纳米金刚石薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法，其特征在于，所述步骤1中刀具放入腐蚀性的液体中进行化学处理具体为：

步骤1-1工作人员握住刀具的一端，将刀具覆膜部分的边缘用笔标注出来，便于作为参照；

步骤1-2将刀具覆膜部分放入腐蚀性的液体中，深度为标注位置。

3.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法，其特征在于，所述步骤2中启动加热热丝功率具体为：

步骤2-1将处理过的刀具放入CVD设备反应室中，

步骤2-2将加热温度设置至1600℃。

4.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法，其特征在于，所述步骤3中接入气体具体为：

步骤3-1将气体流量为100-200ml的氢气和50ml的甲烷进行混合；

步骤3-2将混合后的气体导入CVD设备反应室内；

步骤3-3通过控制气体的流量从而调节反应气压。

5.根据权利要求1所述的一种纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法，其特征在于，所述步骤4中经过15分钟形核与4小时的生长过程具体为：

步骤4-1通过加热热丝激发气体反应，形成氢原子与碳原子；

步骤4-2通过反应气压升高，氢原子与碳原子平均自由移动，原子间的碰撞自由程度减少，形成纳米金刚石复合涂层。