[发明专利]研磨装置用承载头及其隔膜有效
| 申请号： | 201811531783.0 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN111168562B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 孙准晧;申盛皓 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及化学机械式研磨装置用承载头及其隔膜，提供一种随着研磨工序的进行，在发生研磨垫或卡环等耗材的磨损，并随着耗材的磨损量而发生隔膜的上下移动移位时，借助于第二固定瓣，提供补偿力而使之抵消，从而提高研磨品质的研磨装置用承载头的隔膜及其承载头。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 承载 及其 隔膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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