[发明专利]研磨装置用承载头及其隔膜

权利要求书

1.一种研磨装置用承载头的隔膜，其中，包括：

底板，其由挠性材料形成，对基板的板面加压；

侧面，其包含挠性材料，从所述底板的边缘延长形成；

第一固定瓣，其从所述侧面的上端部向内侧延长形成，其末端固定于所述承载头的底座，以形成一部分被所述底板和所述侧面环绕的主压力腔室；

第二固定瓣，其从所述侧面的上端部与所述第一固定瓣中的一个延长形成，与所述第一固定瓣一同在所述主压力腔室的上侧形成辅助压力腔室，在向所述辅助压力腔室施加正压的状态下，针对所述侧面的上下移动移位提供补偿力，

所述第二固定瓣包括从所述底板越向上方越沿半径方向倾斜的倾斜部分，所述倾斜部分包括向半径内侧倾斜的第一倾斜部分和越向上方越向半径外侧倾斜的第二倾斜部分，

当所述侧面发生沿上下方向移动的移位时，所述第二倾斜部分发生比所述第一倾斜部分更大的旋转移位，通过作用于所述第一倾斜部分的第一力的垂直分量的增加量与作用于所述第二倾斜部分的第二力的垂直分量的增加量的差异，使所述补偿力向上方或下方施力。

2.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其中，

所述第二倾斜部分的厚度比所述第一倾斜部分更薄。

3.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其中，

所述第二倾斜部分的长度比所述第一倾斜部分的长度更长。

4.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其中，

包括从所述第二倾斜部分向上方延长的第三延长部分，所述第二倾斜部分的长度与所述第三延长部分除固定末端之外的长度之和，比所述第一倾斜部分的长度更长。

5.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其中，

所述第一倾斜部分形成2个以上；

所述第一力为作用于2个以上的所述第一倾斜部分的力的合力。

6.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其中，

所述第二倾斜部分形成2个以上；

所述第二力为作用于2个以上的所述第二倾斜部分的力的合力。

7.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其中，

所述第一倾斜部分与所述第二倾斜部分中的一个以上包括以不同斜率倾斜的部分。

8.一种研磨装置用承载头的隔膜，其中，包括：

底板，其由挠性材料形成，对基板的板面加压；

侧面，其包含挠性材料，从所述底板的边缘延长形成；

第一固定瓣，其从所述侧面的上端部向内侧延长形成，其末端固定于所述承载头的底座，以形成一部分被所述底板和所述侧面环绕的主压力腔室；

第二固定瓣，其从所述侧面的上端部与所述第一固定瓣中的一个延长形成，与所述第一固定瓣一同在所述主压力腔室的上侧形成辅助压力腔室，在向所述辅助压力腔室施加正压的状态下，针对所述侧面的上下移动移位提供补偿力，

所述第二固定瓣包括从所述底板越向上方越沿半径方向倾斜的倾斜部分，所述倾斜部分包括向半径内侧倾斜的第一倾斜部分和越向上方越向半径外侧倾斜的第二倾斜部分，

用于将所述侧面与所述第二固定瓣中的一个和所述第一固定瓣连接的第一连接部形成为，比所述第一倾斜部分与所述第二倾斜部分中的一个以上的平均刚性更大。

9.根据权利要求8所述的研磨装置用承载头的隔膜，其中，

所述第二固定瓣包括与所述倾斜部分连接并向远离所述底板的上方延长的第三延长部分，在所述第三延长部分形成有固定末端。

10.根据权利要求9所述的研磨装置用承载头的隔膜，其中，

所述固定末端固定于所述底座的侧面。

11.根据权利要求9所述的研磨装置用承载头的隔膜，其中，

所述第三延长部分包围所述底座的外侧面，所述固定末端固定于所述底座的上表面。