[发明专利]空间精度校正方法和设备

摘要

本发明提供一种空间精度校正方法和设备。该空间精度校正设备使用利用干涉仪测量的可测量长度值和利用用于将移动器移动到预定的一组空间坐标的定位器测量的移动体的一组空间坐标的可测量值来进行该定位器的空间精度校正。通过将移动体按顺序移动到多个测量点来获取各测量点的测量长度值和测量值，在多个测量点中的各测量点的测量长度值和测量值的测量之后对正在测量的多个测量点中的至少一个进行一次以上重复测量，并且在测量长度值的重复误差等于或大于阈值的情况下，再次测量多个点。

主权项

1.一种空间精度校正设备的空间精度校正方法，所述空间精度校正设备包括：定位机构，用于将移动体移动到预定的一组空间坐标，所述定位机构还具有安装到所述移动体的后向反射器；以及激光干涉仪，所述激光干涉仪具有基准点并测量从所述基准点到所述后向反射器的距离，所述方法使用利用所述激光干涉仪测量的测量长度值和利用所述定位机构测量的所述后向反射器的空间坐标的测量值来进行所述定位机构的空间精度校正，所述方法包括：测量处理，其包括：将所述后向反射器按顺序移动到多个测量点，以及获取各测量点处的所述测量长度值和所述测量值，其中在针对所述多个测量点中的各测量点测量了所述测量长度值和所述测量值之后：针对所测量的多个测量点中的至少一个进行至少一次重复测量，以及在经历所述重复测量的测量点的所述测量长度值的重复测量中的误差等于或大于预定阈值的情况下，再次测量所述多个测量点。