[发明专利]空间精度校正方法和设备有效
| 申请号: | 201811531591.X | 申请日: | 2018-12-14 |
| 公开(公告)号: | CN109974644B | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
| 发明(设计)人: | 谷中慎一郎;奈良正之 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
| 主分类号: | G01B21/04 | 分类号: | G01B21/04 |
| 代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
| 地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 空间 精度 校正 方法 设备 | ||
1.一种空间精度校正设备的空间精度校正方法,所述空间精度校正设备包括:定位机构,用于将移动体移动到预定的一组空间坐标,所述定位机构还具有安装到所述移动体的后向反射器;以及激光干涉仪,所述激光干涉仪具有基准点并测量从所述基准点到所述后向反射器的距离,所述方法使用利用所述激光干涉仪测量的测量长度值和利用所述定位机构测量的所述后向反射器的空间坐标的测量值来进行所述定位机构的空间精度校正,所述方法包括:
测量处理,其包括:
将所述后向反射器按顺序移动到多个测量点,以及
获取各测量点处的所述测量长度值和所述测量值,其中在针对所述多个测量点中的各测量点测量了所述测量长度值和所述测量值之后:
针对所测量的多个测量点中的至少一个进行至少一次重复测量,以及
在经历所述重复测量的测量点的所述测量长度值的重复测量中的误差等于或大于预定阈值的情况下,再次测量所述多个测量点。
2.根据权利要求1所述的空间精度校正方法,其中,所述测量处理还包括:
将多个测量点划分为多个测量线;以及
在属于各测量线的所有测量点的所述测量长度值和所述测量值的测量结束之后,对属于该测量线的至少一个测量点进行至少一次重复测量。
3.根据权利要求2所述的空间精度校正方法,还包括:
基于所述测量值、所述测量长度值和所述激光干涉仪的所述基准点的坐标来计算所述定位机构的空间精度校正的校正参数,所述校正参数的计算包括:针对各测量线,向所述测量长度值应用第一校正常数以及向所述基准点的坐标应用第二校正常数。
4.根据权利要求2所述的空间精度校正方法,其中,经历所述重复测量的至少一个测量点包括在所述测量线上初始测量的测量点。
5.根据权利要求3所述的空间精度校正方法,其中,经历所述重复测量的至少一个测量点包括在所述测量线上初始测量的测量点。
6.根据权利要求2所述的空间精度校正方法,其中,进行至少一次重复测量包括以与最近测量的多个测量点的测量相反的顺序测量所述多个测量点。
7.根据权利要求3所述的空间精度校正方法,其中,进行至少一次重复测量包括以与最近测量的多个测量点的测量相反的顺序测量所述多个测量点。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的空间精度校正方法,还包括:
初步测量处理,其包括在进行所述测量处理之前,针对所述多个测量点进行多次重复测量,
其中,所述阈值是基于所述初步测量处理中的所述多个测量点的重复测量中的误差的标准偏差来计算的。
9.一种空间精度校正设备,包括:
定位机,用于将移动器移动到预定的一组空间坐标,所述定位机包括安装到所述移动器的后向反射器,所述定位机被配置为对所述后向反射器的能够测量的空间坐标值进行测量;
激光干涉仪,其具有基准点并且被配置为对能够测量的作为从所述基准点到所述后向反射器的距离的长度值进行测量;以及
控制器,其能够操作地连接到所述定位机和所述激光干涉仪,所述控制器包括处理器和用于存储指令的存储器,其中所述处理器在执行所述存储器中所存储的指令时进行操作,所述操作包括:
将所述后向反射器按顺序移动到多个测量点,
获取各所述测量点处的测量长度值和测量值,
在针对所述多个测量点中的各测量点进行了所述测量长度值和所述测量值的测量之后,针对所测量的所述多个测量点中的至少一个进行至少一次重复测量,以及
在经历所述重复测量的测量点的所述测量长度值的重复测量中的误差等于或大于预定阈值的情况下,再次测量所述多个测量点。
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