[发明专利]一种宽温大动态范围的中红外光电探测器及探测模块

摘要

本发明提供一种宽温大动态范围的中红外光电探测器及探测模块，包括衬底，涂覆在衬底上的光导薄膜，光导薄膜上设置有漏出衬底的分割缝，使得光导薄膜呈包括测量臂、参考臂和底边的U型结构，测量臂的顶端以及底边、参考臂上涂覆有金属膜，使得测量臂上外露部分的光导薄膜形成光敏元；测量臂的顶端、参考臂的顶端以及底边的金属膜上分别设置有测量电极、参考电极和公共电极。通过设计参考暗元，对于探测器元阻抗温度特性进行补偿，大大提高了探测器的温度工作范围。

主权项

1.一种宽温大动态范围的中红外光电探测器，其特征在于：包括衬底(1)，涂覆在衬底(1)上的光导薄膜(9)，光导薄膜(9)上设置有漏出衬底(1)的分割缝(4)，使得光导薄膜(9)呈包括测量臂(12)、参考臂(13)和底边(11)的U型结构，所述的测量臂(12)的顶端以及底边(11)、参考臂(13)上涂覆有金属膜(3)，使得测量臂(12)上外露部分的光导薄膜(9)形成光敏元；所述的测量臂(12)的顶端、参考臂(13)的顶端以及底边(11)的金属膜(3)上分别设置有测量电极(7)、参考电极(6)和公共电极(5)。