[发明专利]一种宽温大动态范围的中红外光电探测器及探测模块

权利要求书

1.一种宽温大动态范围的中红外光电探测器，其特征在于：包括衬底(1)，涂覆在衬底(1)上的光导薄膜(9)，光导薄膜(9)上设置有漏出衬底(1)的分割缝(4)，使得光导薄膜(9)呈包括测量臂(12)、参考臂(13)和底边(11)的U型结构，所述的测量臂(12)的顶端以及底边(11)、参考臂(13)上涂覆有金属膜(3)，使得测量臂(12)上外露部分的光导薄膜(9)形成光敏元；所述的测量臂(12)的顶端、参考臂(13)的顶端以及底边(11)的金属膜(3)上分别设置有测量电极(7)、参考电极(6)和公共电极(5)。

2.根据权利要求1所述的宽温大动态范围的中红外光电探测器，其特征在于：所述的测量臂(12)上的金属膜(3)沿测量臂(12)长度方向为栅格结构，使得测量臂(12)上的金属膜(3)和外露的光导薄膜(9)呈周期性间隔设置。

3.根据权利要求1所述的宽温大动态范围的中红外光电探测器，其特征在于：所述的衬底(1)为石英或硅。

4.根据权利要求1所述的宽温大动态范围的中红外光电探测器，其特征在于：所述的光导薄膜(9)为锑化铟、碲镉汞、硫化铅或硒化铅光导薄膜。

5.根据权利要求1所述的宽温大动态范围的中红外光电探测器，其特征在于：所述的金属膜(3)为金膜或银膜。

6.根据权利要求1所述的宽温大动态范围的中红外光电探测器，其特征在于：测量电极(7)、参考电极(6)和公共电极(5)焊接在对应的金属膜(3)上。

7.根据权利要求1所述的宽温大动态范围的中红外光电探测器，其特征在于：所述的探测器的衬底(1)的厚度为100-500微米，光导薄膜(9)厚度为10微米，金属膜(3)的厚度为0.5微米。

8.根据权利要求1所述的宽温大动态范围的中红外光电探测器，其特征在于：所述的衬底(1)为长条形结构，长度为1.5毫米，宽度为1毫米，分割缝(4)宽度为0.2毫米。

9.一种宽温大动态范围的中红外光电探测模块，其特征在于：包括电桥结构的探测单元和放大器，所述的探测单元包括如权利要求1-8任意之一的宽温大动态范围的中红外光电探测器以及上配平电阻和下配平电阻，所述的上配平电阻和下配平电阻之间的公共端和公共电极(5)分别联接至放大器的负输入端、正输入端。