[发明专利]一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统在审

专利信息
申请号: 201811523630.1 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN109343213A 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 张昂;鲜浩;周虹;凡木文;张俊波;张颖;苑永涛;刘红;程云涛;方敬忠 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G02B26/06 分类号: G02B26/06;G02B5/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统,包括反射镜面、镜面粘接层、变形驱动层、支撑结构和电控系统,反射镜面基于纳米多层膜研制而成,用于完成对光信号的镜面反射,反射谱段可以根据需求进行设计调整,具有变形能力,能够实现空间与时间上的面形自由校正;镜面粘接层完成反射镜面与变形驱动层的集成连接;变形驱动层是变形反射镜的核心组成部分,根据外部控制信号,输出变形量,完成高精度反射镜面变形,形成面形校正能力;支撑结构是变形反射镜高精度变形部件与外部的结构接口;电控系统用于产生对变形驱动层的高压控制信号适用于各种面临复杂环境条件、高成像质量要求的光学系统,尤其适用于空间光学相机/望远镜。
搜索关键词: 变形反射镜 反射镜面 驱动层 变形 纳米多层膜 镜面 电控系统 支撑结构 粘接层 面形 校正 成像质量要求 复杂环境条件 高压控制信号 空间光学相机 外部控制信号 变形部件 变形能力 光学系统 结构接口 镜面反射 变形量 反射谱 望远镜 输出 外部 自由
【主权项】:
1.一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统,包括反射镜面(1)、镜面粘接层(2)、变形驱动层(3)、支撑结构(4)和电控系统(5),其特征在于:反射镜面(1)基于纳米多层膜研制而成,用于完成对光信号的镜面反射;镜面粘接层(2)完成反射镜面与变形驱动层的集成连接;变形驱动层(3)是变形反射镜的核心组成部分,根据外部控制信号,输出变形量,完成高精度反射镜面变形,形成面形校正能力;支撑结构(4)是变形反射镜高精度变形部件与外部的结构接口,保障变形反射镜的力学和机械性能,还可为面形校正提供参考基准;电控系统(5)用于产生对变形驱动层的高压控制信号,要求具有特定的工作频率、输出噪声和驱动功率。
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