[发明专利]一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统

权利要求书

1.一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统，包括反射镜面(1)、镜面粘接层(2)、变形驱动层(3)、支撑结构(4)和电控系统(5)，其特征在于：反射镜面(1)基于纳米多层膜研制而成，用于完成对光信号的镜面反射；镜面粘接层(2)完成反射镜面与变形驱动层的集成连接；变形驱动层(3)是变形反射镜的核心组成部分，根据外部控制信号，输出变形量，完成高精度反射镜面变形，形成面形校正能力；支撑结构(4)是变形反射镜高精度变形部件与外部的结构接口，保障变形反射镜的力学和机械性能，还可为面形校正提供参考基准；电控系统(5)用于产生对变形驱动层的高压控制信号，要求具有特定的工作频率、输出噪声和驱动功率。

2.根据权利要求1所述的一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统，其特征在于：反射面由增材纳米多层膜直接加工而成，无需进行光学加工，具有很高的研制效率；反射谱段可以根据需求进行设计调整，面形可被改变，能够实现空间与时间上的面形自由校正。

3.根据权利要求1所述的一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统，其特征在于：反射面初始面形可以是平面、凹面、凸面、自由曲面。

4.根据权利要求1所述的一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统，其特征在于：镜面粘接层用于完成纳米多层膜与变形驱动层的固连，具有复杂力学环境与温度环境下的光学稳定性，不产生低频与高频空间误差，不产生非线性变形效应。

5.根据权利要求1所述的一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统，其特征在于：变形驱动层能够实现1nm级高精度、10μm级大行程面形校正，其校正空间频率可以根据系统需求进行设计。

6.根据权利要求1所述的一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统，其特征在于：变形驱动层可以是各种驱动原理的驱动器，具备高速响应能力和断电面形保持能力。

7.根据权利要求1所述的一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统，其特征在于：支撑结构是变形反射镜与外部的机械接口，其材料不限；在需要时，面形参考基准由支撑结构提供。

8.根据权利要求1所述的一种基于纳米多层膜的变形反射镜系统，其特征在于：包括反射镜面(1)、镜面粘接层(2)、变形驱动层(3)、支撑结构(4)的变形反射镜镜体部分面密度可以低至10kg/m²以下，且具备20nm(RMS)面形精度；在加工设备能力许可的前提下，其镜面口径不受限。