[发明专利]一种抛光石英晶片浅划痕检测的装置与方法

摘要

本发明公开了一种抛光石英晶片浅划痕检测的装置与方法，其中装置包括进料筒、取片圆盘、定位模块、取片吸头、检测圆盘、正面检测模块、背面检测模块、放片吸头以及收片盒，其中，进料筒，用于在主程序的控制下，通过一定振动频率将抛光片撒到取片圆盘上；取片圆盘，设置为精确正反转动一定小角度的圆盘，将抛光片无序均匀地散布所述取片圆盘上以备逐片拾取；定位模块，所述定位模块包括定位相机、镜头及光源，位于取片圆盘上方，用于对取片圆盘上的抛光片定位成像，从而计算出抛光片的坐标，坐标包括步进量和转动角度。

主权项

1.一种抛光石英晶片浅划痕检测的装置，其特征在于，包括进料筒、取片圆盘、定位模块、取片吸头、检测圆盘、正面检测模块、背面检测模块、放片吸头以及收片盒，其中：进料筒，用于在主程序的控制下，通过一定振动频率将抛光片撒到取片圆盘上；取片圆盘，设置为精确正反转动一定小角度的圆盘，将抛光片无序均匀地散布所述取片圆盘上以备逐片拾取；定位模块，所述定位模块包括定位相机、镜头及光源，位于取片圆盘上方，用于对取片圆盘上的抛光片定位成像，从而计算出抛光片的坐标，坐标包括步进量和转动角度；取片吸头，固定于直线步进电机上的真空吸头，配合取片圆盘根据所述转动角度转动的同时，根据所述步进量步进到取片圆盘上的抛光片位置，从而准确的到达待拾取抛光片上方，通过真空吸放动作，将抛光片取到检测圆盘上；检测圆盘，按照一定角度转动的特制铝盘，用于承载抛光片进行正反两面的外观检测；正面检测模块，所述正面检测模块包括正面相机、镜头及光源，位于检测圆盘上方，对检测圆盘上的抛光片上表面成像检测；背面检测模块，所述背面检测模块包括背面相机、镜头及光源，位于检测圆盘下方对检测圆盘上的抛光片下表面成像检测；放片吸头，固定于直线步进电机上的真空吸头，用于将检测完毕的抛光片移送到不同检测结果的收片盒中；收片盒，排列于放片吸头运动路径上的若干片盒，用于将不同分类的抛光片收集起来。