[发明专利]一种晶体抛光模板及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 201811494342.8 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109483398A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 孙韬;张晨 | 申请（专利权）人： | 宁波日晟新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 315400 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶体抛光模板，属于超精密抛光过程中用抛光模板及其制造工艺技术领域。本发明提供的晶体抛光模板，由底板和型腔板组成，所述底板和型腔板的材质独立地包括氧化铝陶瓷板、氧化锆陶瓷板、碳化硅陶瓷板、玻璃纤维环氧树脂板、碳纤维环氧树脂板、铝合金板、镁合金板或铸铁板。本发明的晶体抛光模板刚性强，耐酸、碱腐蚀，寿命长，抛光晶体表面平坦度和平面度高；同时，制备工艺操作方便，无需贴蜡、脱蜡，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体抛光 底板 腔板 玻璃纤维环氧树脂 氧化铝陶瓷板 表面平坦度 超精密抛光 环氧树脂板 碳化硅陶瓷 氧化锆陶瓷 铝合金板 镁合金板 模板刚性 耐酸 碱 抛光晶体 抛光模板 制备工艺 制造工艺 碳纤维 铸铁板 面度 脱蜡 制备 腐蚀 应用 | ||
【主权项】：
1.一种晶体抛光模板，由底板和型腔板组成，其特征在于，所述底板和型腔板的材质独立地包括氧化铝陶瓷板、氧化锆陶瓷板、碳化硅陶瓷板、玻璃纤维环氧树脂板、碳纤维环氧树脂板、铝合金板、镁合金板或铸铁板。
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