[发明专利]Cr/C高热稳定性X射线多层膜反射镜及其制备方法有效
| 申请号： | 201811487200.9 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109298475B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 涂昱淳;朱京涛;袁妍妍;叶君建;谢志勇;王伟;黄秀光;傅思祖 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 201899 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Cr/C高热稳定性X射线多层膜反射镜，该反射镜包括基底，在所述基底上依次层叠设有打底层，Cr/C周期多层膜和保护层，所述Cr/C周期多层膜中包括C膜和Cr膜，所述C膜和Cr膜交替分布，所述打底层镀制在基底上，Cr/C周期多层膜中与打底层接触的为C膜，Cr/C周期多层膜中与保护层接触的为Cr膜，保护层镀制在与其相接触的Cr膜上。本发明中Cr，C材料在X射线波段的光学常数合适，Cr/C多层膜反射镜有优异的光学性能。本发明精确控制Cr与C的膜层厚度比，克服了传统的金属/碳多层膜受热后碳膜层膨胀和金属结晶等缺陷。兼顾了光学性能和热稳定性的Cr/C多层膜反射镜适用于在等离子体诊断、同步辐射、空间观测等工作环境温度高的X射线波段的应用。 | ||
| 搜索关键词： | cr 高热 稳定性 射线 多层 反射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种Cr/C高热稳定性X射线多层膜反射镜，其特征在于，该反射镜包括基底（1），在所述基底（1）上依次层叠设有打底层（2），Cr/C周期多层膜（3）和保护层（4），所述Cr/C周期多层膜（3）中包括C膜（31）和Cr膜（32），所述C膜（31）和Cr膜（32）交替分布，所述打底层（2）镀制在基底（1）上，Cr/C周期多层膜（3）中与打底层（2）接触的为C膜（31），Cr/C周期多层膜（3）中与保护层（4）接触的为Cr膜（32），保护层（4）镀制在与其相接触的Cr膜（32）上。
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