[发明专利]一种太阳能薄膜在审

专利信息
申请号: 201811454218.9 申请日: 2018-11-30
公开(公告)号: CN111261738A 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 邬恒果 申请(专利权)人: 余姚市牧晟光伏发电有限公司
主分类号: H01L31/0368 分类号: H01L31/0368;H01L31/04;H01L21/208
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 315420 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明主要公开了一种太阳能薄膜,涉及一种液相外延技术。该方法包括以下步骤:首先将In溶解,然后将装有衬底硅片的衬底夹具置入In中,升温,通过控制升温速度和时间控制硅片在溶剂中的溶解量,溶解30μm‑40μm左右后开始降温,溶解于In中的硅原子由于溶解度的下降而外延生长于硅片上;10‑20h后,将硅片载体缓慢提升出液面,冷却后将硅片取出。采用本发明的方法可由4‑5N衬底硅片外延生长得到6N硅片。
搜索关键词: 一种 太阳能 薄膜
【主权项】:
暂无信息
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