[发明专利]一种大直径光学元件的加工系统

摘要

本发明提供一种大直径光学元件的加工系统，包括工作台、设于所述工作台主轴上的光学元件、用于对光学元件进行定位和检测表面粗糙度的定位及检测系统、用于对光学元件进行加工的旋转超声振动系统、控制系统、以及蠕动泵和冷却装置；旋转超声振动系统包括超声波发生器、驱动电机、旋转装置、超声波加工装置；超声波加工装置以一定的静压力压在光学元件上方并能相对于光学元件高速旋转，超声波加工装置和光学元件表面通过蠕动泵缓慢注入清洗液，用以加工过程中的清洗及冷却。相对于现有技术，本发明的加工系统能有效降低光学元件表面粗糙度，提高加工精度及表面光洁度，进而提高产品质量及生产效率。

主权项

1.一种大直径光学元件的加工系统，其特征在于包括：工作台、设于所述工作台主轴上并能相对所述工作台的X轴和Y轴移动的光学元件、用于对所述光学元件进行定位和检测表面粗糙度的定位及检测系统、用于对所述光学元件进行加工的旋转超声振动系统、用于对所述定位及检测系统和旋转超声振动系统进行控制的控制系统、以及与所述控制系统相连的并用于降温的冷却装置以及用于清洗的蠕动泵；所述旋转超声振动系统包括超声波发生器、驱动电机、由所述驱动电机驱动而能旋转的旋转装置、以及与所述旋转装置相连并同步旋转的超声波加工装置；所述超声波加工装置以一定的静压力压在所述光学元件上方并能相对于所述光学元件高速旋转，所述超声波加工装置和所述光学元件表面通过蠕动泵缓慢注入清洗液，用以加工过程中的清洗。