[发明专利]一种大直径光学元件的加工系统

权利要求书

1.一种大直径光学元件的加工系统，其特征在于包括：工作台、设于所述工作台主轴上并能相对所述工作台的X轴和Y轴移动的光学元件、用于对所述光学元件进行定位和检测表面粗糙度的定位及检测系统、用于对所述光学元件进行加工的旋转超声振动系统、用于对所述定位及检测系统和旋转超声振动系统进行控制的控制系统、以及与所述控制系统相连的并用于降温的冷却装置以及用于清洗的蠕动泵；

所述旋转超声振动系统包括超声波发生器、驱动电机、由所述驱动电机驱动而能旋转的旋转装置、以及与所述旋转装置相连并同步旋转的超声波加工装置；所述超声波加工装置以一定的静压力压在所述光学元件上方并能相对于所述光学元件高速旋转，所述超声波加工装置和所述光学元件表面通过蠕动泵缓慢注入清洗液，用以加工过程中的清洗；

所述超声波发生器的振幅设置为20μm～40μm；

所述定位及检测系统包括光源、CCD相机以及图像采集处理装置，所述定位及检测系统用以对所述光学元件视觉定位，并将位置信息及表面粗糙度信息发送至控制系统，所述控制系统据此调节所述超声波加工装置的位置、旋转速度和旋转时间；

所述光源为超声波不可见光，频闪速度与所述CCD相机的扫描速度同步。

2.根据权利要求1所述的一种大直径光学元件的加工系统，其特征在于：所述超声波加工装置包括金刚石加工件。

3.根据权利要求2所述的一种大直径光学元件的加工系统，其特征在于：所述金刚石加工件为钎焊金刚石加工件。

4.根据权利要求1所述的一种大直径光学元件的加工系统，其特征在于：所述超声波发生器的振幅为30μm。

5.根据权利要求1所述的一种大直径光学元件的加工系统，其特征在于：所述驱动电机为直流无刷电机。