[发明专利]基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件有效
| 申请号： | 201811449173.6 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109855791B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;朱安赐;陶功皓 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。真空检测器件由多折叠支撑梁(1)、固定梳齿(2)和(3)、可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、阻尼墙(7)、衬底(8)、锚点(9)和焊盘(10)组成。固定梳齿(2)和(3)、阻尼墙(7)竖立在衬底(8)上。可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、多折叠支撑梁(1)悬浮在衬底(8)上方，并通过多折叠支撑梁(1)上的锚点(9)支撑在衬底(8)上。阻尼墙(7)布置在多折叠支撑梁(1)附近以增强压膜阻尼，使得这种基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件具有较高的测量灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 折叠 支撑 梳齿 谐振器 真空 检测 器件 | ||
【主权项】：
1.一种基于多折叠梁梳齿谐振器的真空检测器件结构及制作方法，其特征在于：所述的基于多折叠梁梳齿谐振器的真空检测器件由多折叠梁(1)、固定梳齿(2)和(3)、可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、阻尼墙(7)、衬底(8)、锚点(9)和焊盘(10)组成，固定梳齿(2)和可动梳齿(4)组成驱动梳齿，固定梳齿(3)和可动梳齿(5)组成检测梳齿，传动梁(6)连接可动梳齿(4)、(5)和多折叠梁(1)，多折叠梁(1)位于传动梁(6)的两侧，阻尼墙(7)位于多折叠梁(1)附近，固定梳齿(2)和(3)、阻尼墙(7)竖立在衬底(8)上，可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、多折叠梁(1)悬浮在衬底(8)上方，并通过多折叠梁(1)上的锚点(9)支撑在衬底(8)上。
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