[发明专利]基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件

权利要求书

1.一种基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件，其特征在于：基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件由多折叠支撑梁(1)、固定梳齿(2)和(3)、可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、阻尼墙(7)、衬底(8)、锚点(9)和焊盘(10)组成，固定梳齿(2)和可动梳齿(4)组成驱动梳齿，固定梳齿(3)和可动梳齿(5)组成检测梳齿，传动梁(6)连接可动梳齿(4)、(5)和多折叠支撑梁(1)，多折叠支撑梁(1)位于传动梁(6)的两侧，阻尼墙(7)位于多折叠支撑梁(1)附近，固定梳齿(2)和(3)、阻尼墙(7)竖立在衬底(8)上，可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、多折叠支撑梁(1)悬浮在衬底(8)上方，并通过多折叠支撑梁(1)上的锚点(9)支撑在衬底(8)上。

2.根据权利要求1所述的基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件，其特征在于：在多折叠支撑梁(1)附近布置的阻尼墙(7)增大了梳齿谐振器的压膜阻尼，从而提高了测量真空度的灵敏度。

3.根据权利要求1所述的基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件的制作方法，其特征在于：基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件通过以下基本工艺步骤制作：

1)原始材料是双面抛光硅片，在硅片表面制作绝缘层(11)；

2)在绝缘层(11)上制作二氧化硅或磷硅玻璃，作为牺牲层(12)；

3)光刻固定梳齿(2)和(3)、阻尼墙(7)、锚点(9)以及焊盘(10)图形，刻蚀图形区的牺牲层(12)，暴露出绝缘层(11)；

4)沉积多晶硅，掺杂，形成结构层(13)；

5)光刻，刻蚀出多折叠支撑梁(1)、固定梳齿(2)和(3)、可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、阻尼墙(7)、锚点(9)以及焊盘(10)结构；

6)氢氟酸腐蚀牺牲层(12)，释放多折叠支撑梁(1)、可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)，使其悬浮在衬底(8)上方。