[发明专利]一种基于全息光刻技术制备手性Woodpile光子晶体的方法

摘要

本发明属于光子晶体制备技术领域，涉及一种基于全息光刻技术制备手性Woodpile光子晶体的方法，从激光器发出的光束经过扩束准直后，通过多孔光阑分光获得四束光，分别经过置于上下空间的Dove棱镜和正六切面棱镜后汇聚干涉，Dove棱镜上下表面、前后侧面为透光面，棱镜左右两内侧为镜面；正六切面棱镜内侧面为镜面，全反射入射光束，上下面为透光面，四束光汇聚干涉单次曝光即可实现Woodpile光子晶体的制备,其方法简单易行、经济便捷、能够大面积制备所需光子晶体结构。

主权项

1.一种基于全息光刻技术制备手性Woodpile光子晶体的方法，其特征在于采用棱镜组合系统实现手性Woodpile光子晶体的制备，具体过程为：(1)从激光器发出的线偏光,通过准直扩束系统和多孔光阑后获得四束相干光(2)四束相干光由上下两部分组成，其中上部分为棱镜A产生的一束相干光其与水平方向呈30°的光束，相干光从棱镜A上表面入射到左侧面并发生反射，继而通过右表面发生反射，通过两次镜面反射后入射到样品位置如图6所示，下部分为棱镜B产生的三束相干光各束相干光在x‑y平面的投影相邻之间夹角均为60°，通过选择多孔光阑，使三束相干光从棱镜B底部入射到侧表面并发生反射,以相同入射角在棱镜B下表面汇聚，其中一束相干光透过棱镜A射入棱镜B，通过镜面反射，反射到样品位置，其余两束相干光直接射入棱镜B，通过镜面反射，入射到样品位置；(3)上述四束光在汇聚处干涉，单次曝光形成手性Woodpile光子晶体。