[发明专利]一种基于全息光刻技术制备手性Woodpile光子晶体的方法有效
申请号: | 201811442827.2 | 申请日: | 2018-11-29 |
公开(公告)号: | CN109298483B | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 王霞;赵秋玲;吕浩;尤凯;刘静;滕利华;高鹏;谭永炎 | 申请(专利权)人: | 青岛科技大学 |
主分类号: | G02B6/02 | 分类号: | G02B6/02;G03H1/00 |
代理公司: | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人: | 黄晓敏;于正河 |
地址: | 266061 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 全息 光刻 技术 制备 手性 woodpile 光子 晶体 方法 | ||
1.一种基于全息光刻技术制备手性Woodpile光子晶体的方法,其特征在于采用棱镜组合系统实现手性Woodpile光子晶体的制备,棱镜组合系统通过棱镜A和棱镜B上下排列组合产生,样品设置在棱镜A与棱镜B之间,棱镜B的底部临近棱镜A的下底面,棱镜A采用Dove棱镜,其上棱长为4.22
(1)从激光器发出的线偏光, 通过准直扩束系统和多孔光阑后获得四束相干光,,,;
(2)四束相干光由上下两部分组成,其中上部分为相干光,相干光从棱镜A上表面入射到左侧面并发生反射,继而通过右表面发生反射,通过两次镜面反射后形成与水平方向呈30°夹角的光束,入射到样品位置,下部分为三束相干光,,,通过选择多孔光阑,使三束相干光从棱镜B底部入射到侧表面并发生反射,以相同入射角在棱镜B底部汇聚到样品位置,其中一束相干光透过棱镜A 射入棱镜B,通过棱镜B的镜面反射,反射到样品位置,其余两束相干光直接射入棱镜B,通过棱镜B镜面反射,入射到样品位置,三束相干光在水平面的投影的相邻投影之间夹角均为60o;
(3)上述四束相干光在汇聚处干涉,单次曝光形成手性Woodpile光子晶体,其中在汇聚处干涉的四束相干光波矢分别为:,,,,其中b ,d为晶格的长度。
2.根据权利要求1所述基于全息光刻技术制备手性Woodpile光子晶体的方法,其特征在于制备的手性Woodpile光子晶体的晶格基矢为:
倒格基矢:
,
其中d为晶格的长度,
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