[发明专利]求出偏离量的方法和校准搬送位置数据的方法

摘要

本发明提供求出偏离量的方法和校准搬送位置数据的方法，能够以高精度求出测定器的偏离量。测定器具有基底基板、多个传感器电极、高频振荡器以及运算部。多个传感器电极以从多个传感器电极到聚焦环的内周面的最短距离的和(A)为固定的值的方式配置。方法包括以下步骤：利用配置在区域内的测定器来计算多个测定值(Ci)；使用计算出的多个测定值(Ci)来计算常量(a)；使用计算出的常量(a)和多个测定值(Ci)来计算多个距离，所述多个距离分别表示从多个传感器电极到聚焦环的内周面的距离；以及根据计算出的多个距离来计算偏离量。

主权项

1.一种求出测定器的偏离量的方法，在该方法中，所述偏离量是配置在被聚焦环包围的区域内的所述测定器的中心位置相对于所述区域的中心位置的偏离量，所述测定器具有：圆盘状的基底基板；设置于所述基底基板的多个传感器电极；高频振荡器，其被设置为向所述多个传感器电极提供高频信号；以及运算部，其构成为根据与所述多个传感器电极的电位相应的多个检测值分别计算表示所述多个传感器电极各自的静电电容的多个测定值，其中，所述多个传感器电极以以下方式设置于所述基底基板的周缘，该方式为：在所述区域内配置有所述测定器的状态下，从所述多个传感器电极到所述聚焦环的内周面的各个最短距离的和A为固定的值，所述和A满足下述的式(1)，【式1】其中，N是所述多个传感器电极的个数，C_i是所述多个测定值，a是常量，所述方法包括以下步骤：利用配置在所述区域内的所述测定器来计算所述多个测定值C_i；使用计算出的所述多个测定值C_i来计算所述式(1)中的所述常量a；使用计算出的所述常量a和所述多个测定值C_i来计算多个距离，所述多个距离分别表示从所述多个传感器电极到所述聚焦环的内周面的距离；以及根据计算出的所述多个距离来计算所述偏离量。